尼康将于年底推出65纳米浸入式光刻量产机

技术分类: 电源技术  | 2005-02-25
作者:钱敏,技术编辑

上海尼康精机有限公司成立  加藤浩:1971年毕业于早稻田大学,并于当年加入Nikon公司Camera部门,至今已在Nikon公司工作了34年。 1978年开始,加藤浩先生开始转向半导体相关产品的销售。1985-1989年间,曾在德国任职 ,1989年回国后,开始负责亚洲半导体市场的销售,并于2002年5月开始上海尼康精机有限公司的筹备工作。2004年10月上海尼康精机有限公司成立,出任该公司的董事长兼总经理。加藤浩先生同时也是是日本半导体协会上海分会的干事。



  实现浸入式光刻的量产不是一件容易的事,对于尼康公司而言,浸入式光刻虽然不是新技术(在显微镜制造方面已有应用),然而延伸到半导体光刻技术却不是那么简单,因为他是一种在运动中的技术。虽然在抗蚀剂、掩膜方面面临着种种技术难题,但尼康宣称浸入式技术开发已经进入尾声,去年年底已经把用于65nm节点的试用机给客户,量产机也将于今年年底推出。在今年的SEMICON China上,尼康最新的浸入式光刻产品也将闪亮登台。
  “45纳米必须使用浸入式光刻。” 上海尼康精机有限公司董事长兼总经理加藤浩先生说:“45纳米技术已经完成了在功能上的研究,量产上的研究还在进行中
。” 那45纳米产品将何时面世?尼康似乎也不能给出一个明确的时间点。
  “随着新技术的引进,Arf和浸入式光刻的市场需求量会不断增大,但是不会大幅度的增长。”加藤浩先生指出,“一方面,这类机型造价昂贵;另一方面营运成本很高,从制造商的意愿来讲,不会大规模推广。”
  基于以上的考虑,2005年尼康虽然在技术上首推浸入式光刻,而在销售上重点仍集中在I线机和Krf机。据估计2004年尼康有共计265台光刻设备的售出,其中包括55台的二手设备。按机种的市场份额(数量)估计:i线光刻设备为50%,Krf为35%,Arf为15%。
  2004年是半导体产业在历经数年低迷之后表现疯狂的一年,半导体设备市场达到52%的增长。作为世界光刻设备三大供应商之一的尼康也从中收益,虽然跟去年45%的市场占有率相比有所回落。目前尼康在光刻设备领域的全球市场份额为30%,中国市场则占总销售额的11%。据了解在中国市场目前还没有尼康的Arf机,但是随着中国半导体产业的迅猛发展,这只是个时间问题,我们有理由相信中国必将成为尼康争夺光刻市场份额的主战场。
  从1995年尼康光刻机正式进入中国市场,到 2002年尼康光刻机在中国市场超过100台,不管是从数量还是从设备的种类来讲,已经到达了一个水平。同年10月,上海尼康精机有限公司成立。2年多来,尼康上海公司致力于为中国尼康客户提供技术支持以及部品配件的调换,但销售则还是由日本总部负责。
  展望2005年,上海尼康精机有限公司董事长兼总经理加藤浩不无担忧,“2005年,对半导体设备商来说,订单数会有很大的下降。根据公司内部的预测:全世界范围内,尼康的产品会有10%的萎缩,中国市场形势更加严峻,估计会有50%的萎缩。”
  虽然前景不容乐观,但是基于中国潜力巨大的二手设备市场,尼康的这一严峻形势似乎有所缓解。据估计,中国市场尼康光刻机有300台左右,从尼康公司直接购买的有150台(包括二手机)。“2005年中国市场二手机的数量会有很大的增加。”加藤浩先生如是说。
  随着二手机市场在中国的不断扩大,势必促使尼康在二手机方面的技术支持加大人力物力的投入。尼康上海公司同时为从其他渠道购买尼康产品的中国客户提供技术支持服务,但这种服务是按时计价,费用昂贵,许多客户似乎已经不能承受这笔昂贵的开支了。
  针对这一现实,尼康公司正在寻求积极的解决方案:一方面,在对设备进行维护的过程中尽量选择重要关键的部件,以缩短作业时间,减少客户的费用支出;另一方面,因为到目前为止,在中国提供技术支持的技术人员全部来自日本,与之相对应的费用相对较高,为了降低这方面的支出,尼康上海公司逐步开始招收本土员工,对其进行日语、技能全方面的培养。目前,这种做法还在摸索阶段,因为一个技术人员的成熟往往需要2-3年的时间,如何保证本土员工在接受系统的培训之后不流失,继续为公司服务,以达到公司投入和收益上的平衡,这是尼康公司不得不面对的问题。

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