中国首台具有自主知识产权MOCVD设备问世

技术分类: 消费电子设计  | 2008-05-08
来源:半导体国际

  由青岛杰生电气有限公司承担的国家863半导体照明工程重点项目“氮化镓-MOCVD深紫外LED材料生长设备”研制取得突破,我国首台具有自主知识产权的并能同时生长6片外延片的MOCVD设备研制成功。

  该设备在高亮度的蓝光发光二极管(LED)、激光器(LD)、紫外光电探测器、高效率太阳能电池、高频大功率电子器件领域具有广泛应用。MOCVD是半导体照明上游关键设备,目前国内半导体照明产业的研发和生产所需设备全部依赖进口。在此之前,杰生电气已先后研发出2英寸单片和2英寸3片的氮化镓基外延材料生长设备,已获国家发明专利该系列设备,在蓝宝石Sapphire晶片和碳化硅SiC晶片生长出各种结构的GaN基材料。

  成立于2001年的杰生电气,专门从事氮化镓外延生长“金属有机物气相淀积法”设备(MOCVD SYSTEM)的研制开发和生产,杰生电气以研发和生产高质量GaN-MOCVD SYSTEM为起点,开发具有完全自主知识产权的从研究型到生产型MOCVD SYSTEM,是国内目前唯一的GaN-MOCVD设备生产制造厂家。

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