45 nm 的挑战 代工厂、设计团队和 EDA 公司认为,45 nm 工艺给设计团队带来了三个重大挑战:强制的低功耗设计、强制使用 DFM 工具和方法以及更多采用 RDR 与概率分析。与 65 nm 节点相同,代工厂的第一条 45 nm 节点工艺线是面向低功耗,而不是高性能。代工厂并没有勉为其难地采用新材料(如高 k 材料),他们并没有做重大的改动。这种决策意味着泄漏问题将继续成为 45 nm 节点上的首要考量。在 65 nm 节点时,动态泄漏、静态泄漏或待机泄漏占到 IC 总功耗的 40%,迫使所有
SoC 设计者(无论面向何种终端应用)都要采用低功耗设计技术(参考文献 2)。在 45 nm 节点时,问题变得更糟:泄漏要消耗掉器件总功率的 60% ~ 65%。这种泄漏要求代工厂必须采用低功耗设计技术。Chartered Semiconductor 的 Ng 称:“比如,我们正看到电压岛的大量应用。客户在使用时并非简单地根据电源需求
将器件分组,而是当整个器件区段未使用时,通过电压岛将其电源全部切断。这些是电源管理的重大技术,我们看到的例子越来越多。”
Gregg Bartlett 是飞思卡尔公司 CMOS 技术副总裁,他说飞思卡尔的网络集团与无线集团正在采用 45 nm 节点作设计,并且都采用了低功耗技术。Bartlett 说:“我希望把从 65 nm 到 45 nm 的转换叫做非革命性转换。在电源管理设计技术方面,我们采用了动态电压频率换算、栅极保持电源门控,以及多种节点的其它节能技术。对于采用 45 nm 的我们来说,它们并非新技术,但我们正在更多地使用。”Bartlett 指出,飞思卡尔的无线集团专为多个工艺节点开发低功耗设计,正在花更多时间做复杂的电源建模,并且开始对自己的 45 nm 工具流做热建模。
Bartlett 说:“确定热点以及内核间热差异,并且了解你的功耗点,这些是我们看到的新兴需求。尽管这些技术和工具还不是主流,但它们能使你更方便地了解自己产品将要进入的产品空间。”他指出,飞思卡尔已在自己最新几代芯片组中采用了 IBM 的 SOI(绝缘硅)工艺。他说:“我们不断对工艺作评估,但我们已经用 SOI 得到了很好的结果。我们的 SOI 较 bulk-CMOS 工艺在功耗和性能两方面都取得了两位数字的改善。”
但提供 bulk-CMOS 的代工厂在新的超低 k 工艺中投入了大量精力以控制功耗问题,他们也与 EDA 供应商密切合作,给客户更多的工具,帮助他们管理 45 nm 工艺的功耗。例如,TSMC 在 8.0 版的参考流程中就增加了“改进的低功耗技术建议”,帮助客户进一步实现节能(图1,图2)。代工厂建议采用先进电压换算以及双电源 SRAM 块的分层式电压处理动态功耗管理问题,采用源偏置和向后偏置,以及在非关键路径中使用较长的沟道,以降低运行泄漏。另外还建议使用粗粒度的数据保持和较低漏-漏电压的电源门控,尽量减少待机功率泄漏。

TSMC 的 Quan 称:“这类技术的多数是有关一个时钟的门控,或当不用某些块时简单地将它们关断。很多技术是现成的,我们的客户在开始用 45 nm 节点设计时就可以使用。”另外客户现在还能使用大量的商用低功耗工具。TSMC、UMC 和 CPTA 已验证了所有大型供应商的电源工具与私有企业的低功耗单点工具。Cadence、Synopsys 和 Magma 都提供低功耗工具,各家公司都正在积极地建立一个合二为一的低功耗流程,从而使设计者在将 IC 设计转向易于泄漏的 65 nm 和 45 nm 工艺时抢占有利位置。
代工厂急于在这一任务中为 EDA 公司提供方便。TSMC 已经为自己的 8.0版参考流程验证了 Cadence 的 CPF(公共电源格式),它有 Si2(硅集成创新联盟)的赞助。该格式承诺提供各种工具,能处理跨越整个设计流程,直到采用单一电源格式的工作。Quan 指出 TSMC 也正在与 Accellera 的 UPF(统一电源格式)集团一起工作,针对其 45 nm 工艺验证该格式。
DFM 成为一种必须
在 65 nm 节点时,代工厂建议(但不要求)客户采用 DFM 工具(参考文献 3)。但是,45 nm 节点将需要 DFM 工具用于代工厂界定的三种类型中的两种:LPC(光刻工艺检查)和 CAA(关键区域分析)。不过,代工厂只是建议(不要求)对第三种类型 CMP(化学机械平面化)仿真采用 DFM 工具。Chartered 的 Ng 说:“我们并未看到很多客户在 65 nm 节点时使用 DFM 工具。但如果任何客户试图不用某些 DFM 就着手 45nm节点,那我会非常吃惊。”他指出,代工厂将 65 nm 工艺作为 DFM 工具的一个试验场。Ng 称:“我们只是在开始熟悉 DFM 问题和工具需求。现在,在 45 nm 节点上,我们对于真正的需求有了更好的想法。”