Aviza刻蚀设备Omega fxP获得中国晶圆厂订单 -- EDN电子设计技术

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Aviza刻蚀设备Omega fxP获得中国晶圆厂订单

技术分类： EDA工具与服务 | 2008-04-10
来源：FabTech网站

　　AvizaTechnology称，中国大陆一家关键晶圆厂订购了OmegafxP刻蚀设备，该设备配备有两个ICP（感应耦合等离子）工艺模块。

　　该设备将用于功率器件的硅沟槽刻蚀及多晶硅的背部刻蚀工艺。

　　Aviza为此OmegafxP刻蚀设备订单的获得而自豪，Aviza公司PVDCVD刻蚀事业部副总裁兼总经理KevinCrofton表示，Aviza的SigmafxPPVD此前在该客户工厂成功安装，充分展示了Aviza一流的技术及我们队客户的承诺，为此次订单的获得起到了积极作用。

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