射频（RF）/微波网络分析仪促进了高频元件及其设计方法的发展。测量电路和器件的传输、反射和阻抗特性的能力使工程师们能优化放大器、变频器、信号分离和滤波器件以及其它元件的性能。通信和国防系统的性能主要取决于这些元件及其测试系统的性能。 回顾过去 20世纪40年代和50年代，大多数高频通信系统都采用电子管（速调管、磁控管）和调幅（AM）或调频（FM）技术。一些原始的信号发生器、功率检波器和阻抗电桥被用来测量上述元件的传输、反射和阻抗特性，使之能制作出成功的系统。为了绘制一个现代史密斯图（Smith chart），每次一个频率要进行数小时繁琐的手动调谐测量。当时的网络分析仪是扫频标量分析仪，结合繁琐的逐点重绘器件的相对相位特性。
到60年代，半导体技术方兴未艾。基于半导体二极管的取样器成为仪器的基本组成部分。这些取样器用来对波形取样，能对信号进行相对幅度和相位测量。基于返波振荡器的频率捷变信号源允许在宽频率范围内进行测量。能进行扫频幅度和相位测量的第一台网络分析仪是建立在8405型矢量电压表基础上的8407*型射频网络分析仪。它允许比较两个波形的幅度和相位，但只能工作到
110 MHz。
图1. 8410型网络分析仪
1967年，HP公司（Agilent Technologies的前身）推出了将扫频能力扩大到12 GHz的8410网络分析仪。这是基于通过组合实现网络分析功能的多个机箱的台式系统（图1）。当时，S参数的概念刚开始流行。它将传输、反射和阻抗转化成了能够迅速测量和观测的单个图像。这是高频设计中的变革，使工程师们能着手用刚开始提供的新型高频半导体器件进行设计。这些器件的优势具有一定的伸缩性。如果设计和测量手段不能使设计人员最大限度地挖掘这些新器件的潜力，那么它们的应用便可能大打折扣。为了从器件中获得最佳性能，合理测量的互动和步骤提示有助于推动设计和测量的不断向前发展。
到70年代，计算机面市，从而扩大了仪器能力（图2）。8452自动网络分析仪应运而生。这种大型三机柜系统为电路设计人员带来误差修正数学处理功能、脉冲测量功能和其它功能。可是，该系统占用了三个仪器机柜。现代网络分析仪可以用单一台式机箱实现所有这些功能。 1976年推出了8505首台集成的、微处理器控制的网络分析仪。这类网络分析仪在一个台式机箱内包含合成信号源、接收机、测试装置和显示器，并工作到1.3 GHz。
80年代中期，宽带固态信号源，经改进的取样器和微处理器三者的结合，形成三种十分重要的产品，即8510、8753和8720矢量网络分析仪（VNA）。8510网络分析仪（图3）成为微波测量的计量标准，并促成元件设计的许多改进。正当对第一代蜂窝电话的要求不断提高时，8753网络分析仪（图4）走向市场。8753是首次全误差修正的射频网络分析仪。由于它的低价格和强大功能，故很快成为工业标准。它广泛用于无线电元件制造中，正如8510和8720成为航空和雷达元件研发制造中的主要支柱一样。
图2. 8452自动网络分析仪系统